先進半導體材料與元件整合專區
本專區共 4 個平台
依製程與量測需求,把各單位設備串成完整流程。每個平台都列出製程步驟、TSRI 設備與跨單位替代方案。
本專區共 4 個平台
本專區共 1 個平台
本專區共 2 個平台
本專區共 2 個平台
本專區共 2 個平台
本專區共 4 個平台
6 大專區共 15 個平台,從材料與元件整合、量子元件、先進封裝、化合物製程到光電與材料量測,研究團隊可依製程階段找到可串接的設備。
查看全部平台新版平台整合各參與單位設備資源,提供機台查詢、平台說明與 TSRI 機台狀況查詢,並全面符合無障礙 AA 等級。
11 月共有 9 台設備進行定期保養,其餘設備維持開放,請於預約前先查詢機台狀況。
11 月 28 日於新竹舉行,邀集各參與單位分享設備共享成果與跨校合作案例。
平台串聯台灣半導體研究中心、工研院、國儀中心與七大半導體中心等學研單位,北、中、南、東各區的設備資源都能在這裡查詢。
全台 10 個學研單位共同提供 350 多項製程、量測與設計資源,北部共 5 個單位(其中 3 個位於新竹);本月(10/01–10/27)資源頁面累計 48,216 次瀏覽,較上月成長 12.4%。
全台 10 個參與單位分布在北部 5 個、中部 2 個、南部 2 個與東部 1 個;台灣半導體研究中心提供 112 項資源最多,每項資源都標示所屬單位與聯絡窗口。
以上 3 個外部系統皆另開新視窗:設備委託、量測預約與晶創服務申請,請於各系統辦理。