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TSRI機台狀況查詢

查看台灣半導體研究中心設備的開放狀態與下次可預約日期，預約前請先確認設備狀況。

TSRI 共 112 台設備，目前 86 台可預約、14 台使用中；本週 9 台維護中、3 台暫停服務，多數設備可於 3 日內預約。

  • 可預約86可於所屬單位系統預約
  • 使用中14目前有使用者操作，可預約下一時段
  • 維護中9定期保養或維修，暫不開放預約
  • 暫停服務3設備停機或移機，另行公告恢復時間

顯示 112 台設備最後更新時間：

TSRI 設備狀況一覽
設備代碼設備名稱子類地點狀態下次可預約
PR-101電子束微影系統微影曝光新竹市可預約2026-10-28
PR-102深紫外光步進曝光機微影曝光台南市可預約2026-10-29
PR-104I-line Stepper微影曝光新竹市可預約2026-10-30
PR-105SB3050 e-beam微影曝光新竹市使用中2026-10-31
PR-1118" TRACK微影曝光新竹市可預約2026-10-29
PR-11212" TRACK微影曝光新竹市可預約2026-10-30
PR-122MOCVD薄膜沉積台南市維護中2026-11-01
PR-123MBE薄膜沉積新竹市可預約2026-10-29
PR-124Ge/Si 磊晶薄膜沉積新竹市可預約2026-10-30
PR-125a-Si 沉積薄膜沉積新竹市使用中2026-10-29
PR-126PECVD薄膜沉積新竹市可預約2026-10-29
PR-127Cluster ALD薄膜沉積新竹市可預約2026-10-30
PR-128PE/ICP CVD薄膜沉積新竹市可預約2026-10-28
PR-129HDP CVD薄膜沉積新竹市可預約2026-10-29
PR-130Thick high-k CVD薄膜沉積新竹市使用中2026-10-30
PR-132ALE蝕刻新竹市可預約2026-10-28
PR-133FEOL/BEOL Cluster Etcher蝕刻新竹市可預約2026-10-29
PR-134ICP Etcher蝕刻新竹市維護中2026-11-06
PR-135DSE 深矽蝕刻蝕刻台南市可預約2026-10-28
PR-136GaN Etcher蝕刻台南市可預約2026-10-29
PR-137IBE蝕刻新竹市使用中2026-10-28
PR-138HF Vapor Etcher蝕刻新竹市可預約2026-10-28
PR-141High Current IMP熱處理與離子佈植新竹市可預約2026-10-29
PR-142Medium Current IMP熱處理與離子佈植新竹市可預約2026-10-30
PR-143RTA熱處理與離子佈植新竹市維護中2026-11-01
PR-144Ultra-high-T Anneal熱處理與離子佈植新竹市可預約2026-10-29
PR-145Laser Anneal熱處理與離子佈植新竹市可預約2026-10-30
PR-146ns-laser 退火熱處理與離子佈植新竹市使用中2026-10-31
PR-151FEOL CMP封裝與鍵合新竹市可預約2026-10-29
PR-161E-gun薄膜沉積新竹市可預約2026-10-30
PR-162MRAM-PVD薄膜沉積新竹市可預約2026-10-28
PR-163WCVD薄膜沉積新竹市可預約2026-10-29
PR-164Metal-ALD薄膜沉積新竹市可預約2026-10-30
PR-165Cluster PVD薄膜沉積新竹市使用中2026-10-29
PR-166Oxide Sputter薄膜沉積台南市可預約2026-10-29
PR-167Electroplating封裝與鍵合台南市可預約2026-10-30
PR-1718" wafer OX bonder封裝與鍵合台南市可預約2026-10-28
PR-172Wafer-level Packaging封裝與鍵合台南市可預約2026-10-29
PR-181FEOL/BEOL Wet Bench熱處理與離子佈植新竹市維護中2026-11-03
PR-182Single Wafer Clean熱處理與離子佈植新竹市可預約2026-10-28
MS-212薄膜 XRD材料結構分析新竹市可預約2026-10-29
MS-231脈衝電性量測系統電性量測新竹市使用中2026-10-29
MS-232可靠度量測系統電性量測新竹市可預約2026-10-28
MS-241稀釋冷凍量測系統電性量測新竹市可預約2026-10-29
MS-251射頻量測系統光電與射頻量測台南市暫停服務另行公告
MS-261矽光晶圓量測系統光電與射頻量測新竹市可預約2026-10-28
MS-262高速光電量測系統光電與射頻量測新竹市可預約2026-10-29
MS-271FIB-SEM 雙束系統電子顯微分析新竹市使用中2026-10-31
MS-272FE-SEM電子顯微分析台南市可預約2026-10-28
MS-281原子探針斷層掃描儀材料結構分析新竹市可預約2026-10-29
MS-291XPS 光電子能譜儀表面與成分分析新竹市維護中2026-11-03
MS-292奈米壓痕儀材料結構分析新竹市可預約2026-10-28
DS-301數位 IC 設計 EDA 平台IC 設計工具新竹市可預約2026-10-29
DS-302類比 IC 設計 EDA 平台IC 設計工具新竹市可預約2026-10-30
DS-303實體驗證平台IC 設計工具台南市可預約2026-10-28
DS-312奈米元件模擬平台製程與元件模擬新竹市可預約2026-10-29
PR-501電子束微影系統 #2微影曝光新竹市可預約2026-10-30
PR-503深紫外光步進曝光機 #2微影曝光台南市可預約2026-10-28
PR-506I-line Stepper #2微影曝光新竹市使用中2026-10-30
PR-508SB3050 e-beam #2微影曝光新竹市可預約2026-10-30
PR-5158" TRACK #2微影曝光新竹市可預約2026-10-28
PR-51712" TRACK #2微影曝光新竹市可預約2026-10-29
PR-528MOCVD #2薄膜沉積台南市維護中2026-11-03
PR-530MBE #2薄膜沉積新竹市可預約2026-10-28
PR-532Ge/Si 磊晶 #2薄膜沉積新竹市可預約2026-10-29
PR-534a-Si 沉積 #2薄膜沉積新竹市可預約2026-10-30
PR-536PECVD #2薄膜沉積新竹市使用中2026-10-30
PR-538Cluster ALD #2薄膜沉積新竹市可預約2026-10-29
PR-540PE/ICP CVD #2薄膜沉積新竹市可預約2026-10-30
PR-542HDP CVD #2薄膜沉積新竹市可預約2026-10-28
PR-544Thick high-k CVD #2薄膜沉積新竹市可預約2026-10-29
PR-547ALE #2蝕刻新竹市使用中2026-10-31
PR-549FEOL/BEOL Cluster Etcher #2蝕刻新竹市可預約2026-10-28
PR-551ICP Etcher #2蝕刻新竹市可預約2026-10-29
PR-553DSE 深矽蝕刻 #2蝕刻台南市可預約2026-10-30
PR-555GaN Etcher #2蝕刻台南市維護中2026-11-04
PR-557IBE #2蝕刻新竹市可預約2026-10-29
PR-559HF Vapor Etcher #2蝕刻新竹市可預約2026-10-30
PR-563High Current IMP #2熱處理與離子佈植新竹市可預約2026-10-28
PR-565Medium Current IMP #2熱處理與離子佈植新竹市可預約2026-10-29
PR-567RTA #2熱處理與離子佈植新竹市使用中2026-10-28
PR-569Ultra-high-T Anneal #2熱處理與離子佈植新竹市可預約2026-10-28
PR-571Laser Anneal #2熱處理與離子佈植新竹市可預約2026-10-29
PR-573ns-laser 退火 #2熱處理與離子佈植新竹市可預約2026-10-30
PR-579FEOL CMP #2封裝與鍵合新竹市可預約2026-10-28
PR-590E-gun #2薄膜沉積新竹市暫停服務另行公告
PR-592MRAM-PVD #2薄膜沉積新竹市可預約2026-10-30
PR-594WCVD #2薄膜沉積新竹市可預約2026-10-28
PR-596Metal-ALD #2薄膜沉積新竹市維護中2026-11-05
PR-598Cluster PVD #2薄膜沉積新竹市可預約2026-10-30
PR-600Oxide Sputter #2薄膜沉積台南市可預約2026-10-28
PR-602Electroplating #2封裝與鍵合台南市可預約2026-10-29
PR-6078" wafer OX bonder #2封裝與鍵合台南市可預約2026-10-30
PR-609Wafer-level Packaging #2封裝與鍵合台南市使用中2026-10-29
PR-619FEOL/BEOL Wet Bench #2熱處理與離子佈植新竹市可預約2026-10-29
PR-621Single Wafer Clean #2熱處理與離子佈植新竹市可預約2026-10-30
MS-652薄膜 XRD #2材料結構分析新竹市可預約2026-10-28
MS-672脈衝電性量測系統 #2電性量測新竹市可預約2026-10-29
MS-674可靠度量測系統 #2電性量測新竹市可預約2026-10-30
MS-684稀釋冷凍量測系統 #2電性量測新竹市維護中2026-11-04
MS-695射頻量測系統 #2光電與射頻量測台南市可預約2026-10-29
MS-706矽光晶圓量測系統 #2光電與射頻量測新竹市可預約2026-10-30
MS-708高速光電量測系統 #2光電與射頻量測新竹市可預約2026-10-28
MS-718FIB-SEM 雙束系統 #2電子顯微分析新竹市可預約2026-10-29
MS-720FE-SEM #2電子顯微分析台南市使用中2026-10-28
MS-730原子探針斷層掃描儀 #2材料結構分析新竹市可預約2026-10-28
MS-741XPS 光電子能譜儀 #2表面與成分分析新竹市可預約2026-10-29
MS-743奈米壓痕儀 #2材料結構分析新竹市可預約2026-10-30
DS-753數位 IC 設計 EDA 平台 #2IC 設計工具新竹市暫停服務另行公告
DS-755類比 IC 設計 EDA 平台 #2IC 設計工具新竹市可預約2026-10-29
DS-757實體驗證平台 #2IC 設計工具台南市可預約2026-10-30
DS-767奈米元件模擬平台 #2製程與元件模擬新竹市可預約2026-10-28