平台介紹
串接北、中、南、東各區大學半導體中心的設備資源，研究團隊可透過單一窗口查詢、比較並申請跨校設備，縮短找設備與排程的時間。
參與單位
- 北區大學半導體中心台北市・26 項資源
- 北區大學奈米元件中心台北市・22 項資源
- 中區大學半導體中心台中市・24 項資源
- 中區大學微機電系統中心台中市・12 項資源
- 南區大學半導體中心台南市・18 項資源
- 南區大學化合物半導體中心高雄市・10 項資源
- 東區大學半導體中心花蓮縣・6 項資源
本平台串接 7 個單位，設備資料以各單位最新上稿為準。
可串接設備
- PR-131感應耦合電漿蝕刻機南區大學半導體中心維護中
- MS-202穿透式電子顯微鏡中區大學半導體中心使用中
- MS-222半導體參數分析儀東區大學半導體中心可預約
- DS-311TCAD 製程與元件模擬北區大學半導體中心可預約
- DS-321高速電路訊號完整性模擬平台中區大學半導體中心暫停服務
目前可直接查詢 5 台設備，完整清單請至機台查詢依單位篩選。
申請流程
- 01
查詢設備
於機台查詢依分類、縣市或設備代碼找到可用設備。
- 02
確認規格與時段
聯繫設備所屬單位窗口，確認規格、送樣方式與可用時段。
- 03
提出申請
至串接平台填寫申請資料並上傳必要文件。
- 04
使用與回饋
完成使用後回填結果，協助平台改善服務。