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平台說明

依製程與量測需求，將各單位設備串成完整流程。每個平台都列出製程步驟、TSRI 設備與跨單位替代方案。

6 大專區共 15 個平台；先進半導體材料與元件整合、材料物性量測兩個專區各有 4 個平台，平台數最多。

2-1

先進半導體材料與元件整合專區

4 個平台
2-2

量子元件製造專區

1 個平台
2-3

先進封裝製程專區

2 個平台
2-4

化合物製程專區

2 個平台
2-5

光電性/物性量測專區

2 個平台
2-6

材料物性量測專區

4 個平台